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제품소개

X-Prep® Vision™ - Substrate Measurement Instrument

  • X-Prep® Vision™은 적외선 스펙트럼 반사측정 장비입니다. X-Prep®3D의 보조 장비로 +/- 5 ㎛의 허용오차내에서 실리콘을 특정한 목표 두께까지 균일하고 얇게 식각할 수 있도록 해줍니다.다음과 같은 균일한 기판의 두께를 측정할 수 있다: 실리콘 (Si), 갈륨비소 (GaAs), 인듐갈륨비소 (InGaAs), 탄 화규소 (SiC), 인화인듐 (InP), 실리콘게르마늄 (SiGe), 갈륨나이트라이드 (GaN)와 포토레지스트 (PR) 등 수 백번 이상 확인된 130가지 이상의 재 료에 대한 라이브러리가 제공됩니다..
견적문의

◈ 멀티 포인트 스캔과 원포인트 스캔으로 실리콘 (다른 단결정 기 판도 가능)의 두께 측정 
◈ 모터로 구동되는 자동 X/Y 및 Z(자동촛점) 시행 (1초 이내 측 정 시간) 
◈ 모서리 제외 X/Y 값 입력 
◈ 지정된 가동 (Drive to Coordinate)”시행 
◈ 근적외선이나 적외선 카메라를 추가할 수 있는 카메라 장착 옵션 
◈ Allied가 개발한 X-Correct™ 소프트웨어 제공 
◈ 포인트 거칠기: 15㎛ 이내 
◈ 10㎛에서 1mm 범위의 측정 
◈ 모서리 및 모퉁이를 자동 감지하여 X-Prep®의 각 보정을 포함 한 측정 그리드에 자동 정렬 
◈ X-Prep® 픽스처에 맞는 스테이지
◈ 2D plot 및 3D graphic을 모두 볼 수 있음 
◈ 볼 수 있는 LED 마크가 샘플의 위치와 움직임을 확인시켜 줌 
◈ 38 x 38 mm X/Y 측정 창 
◈ 데이터 출력 - 표준 윈도우 방법 
◈ 장비 크기: 250 x 300 x 310mm
◈ 품질보증 1년 
◈ 미국 Allied에서 설계 및 제조

제품 LIST

제품 LIST
제품번호 설명 수량
15-50100 X-PREP® VISION™ 100 SUBSTRATE MEASUREMENT INSTRUMENT, 100-240V AC 100 mm x 100 mm X/Y stage travel
15-51000 Visible Light Spectrometer & Camera
15-50020 CCD Camera
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